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GMM-Workshop "Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik"
am 10. Mai 2010 beginnt der GMM-Workshop "Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik".
Die Mikrosystemtechnik (MST) hat sich in den letzten zwei
Jahrzehnten in vielen Produkten aus unterschiedlichen Branchen
wie z. B. Automobiltechnik, Biotechnologie und Konsumgüterindustrie als
wichtige Schlüsseltechnologie etabliert. Ursprünglich
entstand die Mikrosystemtechnik als Anwendung bzw. Modifikation der
Fertigungstechnologien der Silizium- Halbleitertechnik. Inzwischen
haben sich eine Vielzahl leistungsfähiger Technologien wie
Oberflächen-Mikromechanik, Tieftrockenätzen, poröses Silizium,
Waferbondverfahren u. a. entwickelt.
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Zuletzt verändert:
29.04.2010 11:42
