Urheberrechte

Editoren:
S. Büttgenbach, VDE/VDI-GMM, Braunschweig
H. Sturm, VDI/VDE-IT

Autoren:
J. Berger, Berlin
S. Büttgenbach, Braunschweig
W. Karthe, Jena
H. Kergel, Berlin
H. Lehr, Mainz
H. Reichl, Berlin

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik,
Mikro- und Feinwerktechnik (GMM)

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60596 Frankfurt am Main

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R. + M. Theobald
Frankfurt am Main