Bekanntmachung Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren

Innovationsbereich Systemintegration
Bekanntmachungsende: 19.03.2010

Die klassischen MST-Komponenten "Sensoren und Aktoren" sind aus dem heutigen Leben nicht mehr wegzudenken. Es existiert kaum mehr eine technische Errungenschaft ohne sensorische und/oder aktorische Komponenten. Der Trend zu immer komplexeren und intelligenteren Systemen ist jedoch ungebrochen und eröffnet der Mikrosystemtechnik eine Vielzahl neuer Einsatzgebiete. Für die erfolgreiche evolutionäre Weiterentwicklung besteht die Notwendigkeit, Sensoren und Aktoren hinsichtlich wachsender Funktionalität, Komplexität und Miniaturisierung weiterzuentwickeln. Der Einsatz von nanotechnologiebasierten Effekten in Mikrosystemen und die Integration von Nanostrukturen in die Mikrowelt schafft wesentliche Voraussetzungen, um damit einhergehende Integrations- und Miniaturisierungsanforderungen zu erfüllen und bietet so die Chance auf einen Innovationsschub.

Im Rahmen der Bekanntmachung sollen innovative Ansätze aus der Mikro-Nano-Integration für Sensoren und Aktoren sowohl im Sinne von industriell geführten als auch grundlagenorientierten Projekten untersucht und weiterentwickelt werden.